[发明专利]对浸没液体为疏溶的入射表面和光学窗有效
| 申请号： | 201010155639.9 | 申请日： | 2007-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN101907733A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | M·R·索加德 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00;G02B1/10;G02B21/33;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 屠长存 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供用以让光(例如深UV(DUV)光)透射过去的光学窗。示范性光学窗包含可让该光的至少一波长透射过去的窗基板。该窗基板具有装饰有多个次波长粗糙体的入射表面，该粗糙体被排列成让该入射表面对于让该光透射过去的液体是疏溶的。该次波长粗糙体排列可被配置成让该入射表面对于该液体是超疏溶的。该次波长粗糙体可具有任何各种形状及它们的组合，并且可以规则或不规则地排列。 | ||
| 搜索关键词： | 浸没 液体 入射 表面 光学 | ||
【主权项】：
一种光学传感器，其包括：光传感器，其对感测光具有灵敏性；以及光学窗，该感测光光束透射穿过该光学窗而抵达该光传感器，该光学窗包括窗基板，其让该感测光的至少一波长透射过去，该窗基板具有装饰有多个次波长粗糙体的入射表面，该粗糙体被排列成让该入射表面对于让感测光透射过去的液体是疏溶的。
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