[发明专利]一种高温真空烘烤炉及其操作方法

摘要

本发明提供一种高温真空烘烤炉及其操作方法，该高温真空烘烤炉由内腔室和围绕内腔室的外腔室构成。内腔室包括内筒、加热棒、载物台、热电偶，用来获取1200～1600℃高温；外腔室包括外筒、换热器、进出气口、气缸、真空计，具有中空夹层的不锈钢外筒对整个腔室起真空密封和水冷作用，外腔室后端的换热器加速降温过程通入的冷却气体氮气在内外腔室的流通。根据本发明的高温真空烘烤炉烘烤温度高、升降温速度快、本底真空高，有效克服用MOCVD外延炉原位烘烤衬底托盘存在耗时、烘烤不彻底及污染系统等问题，可用于大尺寸和多个衬底托盘烘烤，有效提高外延片材料生产效率和成品率。

主权项

一种高温真空烘烤炉，其特征在于：由内腔室和围绕内腔室的外腔室构成。