[发明专利]一种物理气相沉积设备的电接入装置的防护结构无效
| 申请号： | 201010156640.3 | 申请日： | 2010-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN102234761A | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 赵强;赵振杰 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 上海麦其知识产权代理事务所(普通合伙) 31257 | 代理人： | 董红曼 |
| 地址： | 200062 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种物理气相沉积设备的电接入装置的防护结构，包括：至少一组绝缘子，所述绝缘子设置在电接入装置的轴芯外；设置在所述绝缘子外的遮挡罩，固定所述绝缘子和所述遮挡罩的固定装置。气相物质经过设置在电接入装置外的遮挡罩和绝缘子的屏蔽后，很难在电接入装置上形成足以导致影响的连续的导电层。从而，杜绝了电接入装置被沉积有导电物质后形成电极短路等不利后果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 物理 沉积 设备 接入 装置 防护 结构 | ||
【主权项】：
一种物理气相沉积设备的电接入装置的防护结构，其特征在于，包括：至少一组绝缘子，所述绝缘子设置在电接入装置的轴芯外；设置在所述绝缘子外的遮挡罩，固定所述绝缘子和所述遮挡罩的固定装置。
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