[发明专利]对半导体重掺硅片电阻率进行测试并分档的方法

摘要

本发明涉及一种使用四探针电阻率测试仪对半导体重掺硅片电阻率分档的方法，该方法包括：得到各个厚度下电阻率档位和读数档位的对应表；用千分表测试半导体重掺硅片的厚度；取出四探针电阻率测试仪并水平放置，接通电源，校准后预热；用四探针电阻率测试仪测试标准半导体重掺硅片样片的电阻率；将待测半导体重掺硅片平置在测试台上，操作四探针电阻率测试仪进行测量；将显示测试读数与各个厚度下电阻率档位和读数档位的对应表相比对。本发明在测试工作中，最终的结果是要对硅片的电阻率进行分档，利用电阻率分档的边界值除以厚度系数获得硅片的测试读数分档。从而在批量的测试过程中，只需简单比对对应厚度下的读数分档即可获得电阻率的分档。

主权项

一种对半导体重掺硅片电阻率进行测试并分档的方法，其特征在于该方法包括如下步骤：取四探针电阻率测试仪的修正系数表，将电阻率分档的边界值除以中心厚度的系数，得到读数档位的边界值，得到各个厚度下电阻率档位和读数档位的对应表；用千分表测试半导体重掺硅片的厚度，测试台前层顺序放置泡沫盒，每个泡沫盒上粘贴有厚度档位标签，厚度档位标签以20μm的厚度范围为一个档位，每个厚度档位的端点值为整数，且每个厚度档位的端点值个位数为零，每个厚度档位的端点值个位数为偶数；在泡沫盒内取出测试好厚度档位的一盒半导体重掺硅片用来测试；取出四探针电阻率测试仪并水平放置，接通电源，打开电源开关，按下电流按钮，测试前进行四探针电阻率测试仪的校准工作；校准后预热30分钟以上；将四探针电阻率测试仪的测试电流选择1mA，将四探针电阻率测试仪的功能选择测量，将四探针电阻率测试仪的测试电压选择20mV；用四探针电阻率测试仪测试标准半导体重掺硅片样片的电阻率，如果硅片样片的测量值与标准值误差在5％以内，则表明这台四探针电阻率测试仪可以用于测量；如果硅片样片的测量值与标准值误差在5％以上，则重新选择四探针电阻率测试仪；将待测半导体重掺硅片平置在测试台上，操作四探针电阻率测试仪，使探针下降并接触半导体重掺硅片的上表面，探针接触半导体重掺硅片的上表面后缩回，探针缩回幅度为2/5～2/5探针长度，同一片半导体重掺硅片的正、反面共测试三点以上，得到显示测试读数，取显示测试读数的最大值与最小值之差小于0.5所对应的半导体重掺硅片；将显示测试读数与各个厚度下电阻率档位和读数档位的对应表相比对，如果所有显示测试读数均处于同一档位，则测量的半导体重掺硅片电阻率处于该档位；如果显示测试读数跨档，则测量的半导体重掺硅片属于档位最低的那一档。