[发明专利]高功率非对称宽波导980nm半导体激光器结构无效
申请号: | 201010157501.2 | 申请日: | 2010-04-21 |
公开(公告)号: | CN101820136A | 公开(公告)日: | 2010-09-01 |
发明(设计)人: | 王冠;王俊;崇锋;马骁宇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S5/343 | 分类号: | H01S5/343;H01S5/20;H01S5/06 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种高功率非对称宽波导980nm半导体激光器结构,包括:一衬底,为(100)面的N型镓砷材料,该衬底用于在其上外延生长激光器各层材料;一缓冲层,为N-镓砷材料,该缓冲层制作在衬底上;一N型下限制层,为N-铝镓砷材料,该N型下限制层制作在缓冲层上;一下波导层,为N-铝镓砷材料,该下波导层制作在下限制层上;一下垒层,为镓砷磷材料,该下垒层制作在下波导层上;一量子阱层,该量子阱层制作在下垒层上;一上垒层,该上垒层制作在量子阱层上;一上波导层,该上波导层制作在上垒层上;一P型上限制层,为P-铝镓砷材料,该P型上限制层制作在上波导层上;一过渡层,为P-镓砷材料,该过渡层制作在P型上限制层上;一电极接触层,为P-镓砷材料,该电极接触层制作在过渡层上。 | ||
搜索关键词: | 功率 对称 波导 980 nm 半导体激光器 结构 | ||
【主权项】:
一种高功率非对称宽波导980nm半导体激光器结构,包括:一衬底,为(100)面的N型镓砷材料,该衬底用于在其上外延生长激光器各层材料;一缓冲层,为N-镓砷材料,该缓冲层制作在衬底上;一N型下限制层,为N-铝镓砷材料,该N型下限制层制作在缓冲层上;一下波导层,为N-铝镓砷材料,该下波导层制作在下限制层上;一下垒层,为镓砷磷材料,该下垒层制作在下波导层上;一量子阱层,该量子阱层制作在下垒层上;一上垒层,该上垒层制作在量子阱层上;一上波导层,该上波导层制作在上垒层上;一P型上限制层,为P-铝镓砷材料,该P型上限制层制作在上波导层上;一过渡层,为P-镓砷材料,该过渡层制作在P型上限制层上;一电极接触层,为P-镓砷材料,该电极接触层制作在过渡层上。
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