[发明专利]拍摄检查装置及拍摄检查方法有效
| 申请号： | 201010157972.3 | 申请日： | 2010-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN101852744A | 公开（公告）日： | 2010-10-06 |
| 发明（设计）人： | 胁谷康一;巢之内聪裕 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N21/88 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 张鑫;胡烨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种可以缩短对检查被检查物的图案而求出的缺陷进行再检查的复查动作的时间的拍摄检查装置。具有：使被检查物(109)与拍摄扫描被检查物(109)以检测缺陷的检查光学系统(103)在X方向相对移动的检查光学系统移动机构(107)；使被检查物和仅拍摄缺陷的周边的复查光学系统(104)在X方向相对移动、并使检查光学系统(103)与复查光学系统(104)在与X方向垂直的Y方向相对移动的复查光学系统移动机构(105)；以及使检查光学系统移动机构(107)和复查光学系统移动机构(105)运转的控制机构(300)，控制机构(300)在检查光学系统(103)的拍摄扫描中，控制复查光学系统(104)，使其对缺陷的周边进行拍摄。 | ||
| 搜索关键词： | 拍摄 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种拍摄检查装置，其特征在于，包括：载放被检查物的载放部；对所述被检查物进行拍摄并检测作为第一缺陷群的缺陷的检查光学系统；使所述被检查物和所述检查光学系统在X方向相对移动的检查光学系统移动机构；对由所述检查光学系统检测的所述第一缺陷群进行拍摄并检测作为第二缺陷群的缺陷的复查光学系统；使所述被检查物和所述复查光学系统在所述X方向相对移动、且使所述检查光学系统和所述复查光学系统在与所述X方向垂直的Y方向相对移动的复查光学系统移动机构；以及在所述检查光学系统的拍摄中使所述复查光学系统对所述第一缺陷群进行拍摄、检测所述第二缺陷群和未被复查光学系统拍摄的所述第一缺陷群作为缺陷的控制机构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于松下电器产业株式会社，未经松下电器产业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010157972.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：渐进屈光力眼镜镜片及其设计方法
- 下一篇：风扇组件
