[发明专利]一种多晶硅铸锭工艺无效
| 申请号： | 201010160014.1 | 申请日： | 2010-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN101880911A | 公开（公告）日： | 2010-11-10 |
| 发明（设计）人： | 吴彬辉 | 申请（专利权）人： | 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/10 |
| 代理公司： | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人： | 施秀瑾 |
| 地址： | 332005 江西省九江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多晶硅铸锭工艺，包括投料、加热、熔化和长晶，投炉重量为470-480kg，坩埚采用878×878×480mm；加热第三、四步时间为120、270分钟；熔化第六、七、十一步的时间为190、140、40分钟；长晶第四、五、七步的时间为120、180、270分钟；同时隔热笼在长晶第五、六、七步的提升距离增大至16.3cm。增加每炉硅料的投炉重量，提高铸锭炉的铸锭效率，节约铸锭成本，同时增大了晶锭中晶粒的尺寸，提高了多晶硅片的转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 工艺 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭工艺，包括投料、加热、熔化和长晶，其特征在于，1)投炉重量为470-480kg，坩埚采用878×878×480mm；2)加热第三H3、四步H4时间为120、270分钟；3)熔化第六M6、七M7、十一M11步的时间为190、140、40分钟；4)长晶第四G4、五G5、七G7步的时间为120、180、270分钟；同时隔热笼在长晶第五G5、六G6、七G7步的提升距离增大至16.3cm。
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