[发明专利]平板状待检查体的试验装置有效
| 申请号： | 201010160703.2 | 申请日： | 2010-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN101876679A | 公开（公告）日： | 2010-11-03 |
| 发明（设计）人： | 植木勲;藤原慎治;外川让;安斋正行 | 申请（专利权）人： | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R1/04;G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种平板状待检查体的试验装置，能够准确地进行待检查体的定位且造价低。适用于试验装置的对准装置包括：第1推动机构和第1定位机构，其分别配置在面板承载面的相对的一对边的一个边和另一个边上，并且在对应的边的延伸方向上隔有间隔地配置；第2推动机构和第2定位机构，其分别配置在面板承载面的相对的另一对边的一个边和另一个边上。推动机构和定位机构分别位于与面板承载面相同的高度位置，且分别包括位于面板承载面的外侧的按压构件和使按压构件相对于面板承载面进退的驱动机构。各定位机构的驱动机构以能够解除保持状态的方式保持上述按压部件在上述X方向或Y方向上的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 平板 检查 试验装置 | ||
【主权项】：
一种平板状待检查体的试验装置，其特征在于，包括：用于承载平板状待检查体的、具有矩形的面板承载面的面板承载部；具有能被按压在上述待检查体的电极上的多个触头的探针单元；用于使承载于上述面板承载部的待检查体相对于上述触头进行定位的对准装置，上述对准装置包括：分别配置在上述面板承载面的相对的一对边中的一个边和另一个边的第1推动机构和第1定位机构；分别配置在上述面板承载面的相对的另一对边的一个边和另一个边的第2推动机构和第2定位机构，上述推动机构和上述定位机构分别包括：位于上述面板承载面的外侧的至少1个按压构件；用于使该按压构件沿X方向或Y方向移动的至少1个驱动机构，各定位机构的上述驱动机构以能够解除保持状态的方式保持上述按压部件在上述X方向或Y方向上的位置。
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