[发明专利]一种红外焦平面阵列器件的测试装置及其测试方法

摘要

本发明公开了一种红外焦平面阵列器件的测试装置，包括辐射源与焦平面阵列模块、驱动控制模块和数据采集处理模块，辐射源与焦平面阵列模块包括红外辐射源、光学系统、被测试红外焦平面阵列；驱动控制模块包括偏压控制模块、温度控制模块和时序控制模块；据采集处理模块包括模拟-数字信号转换器、视频输出模块、数据采集卡和数据分析处理模块。本装置具有成本低，效率高，准确可靠等特点，适合大规模红外焦平面阵列器件的测试。对于器件设计制造者和热成像系统的设计者来说都有着非常重要的指导意义。

主权项

一种红外焦平面阵列器件的测试装置，其特征在于，包括辐射源与焦平面阵列模块、驱动控制模块和数据采集处理模块，其中：①辐射源与焦平面阵列模块包括：一红外辐射源：提供具有较高发射率、良好稳定性、均匀性和低漂移特性的黑体辐射源；一光学系统：主要由红外光学透镜构成，对焦平面的红外探测波段具有良好的透过率，过滤红外探测波段以外的波段，将红外辐射源的红外辐射聚焦到红外焦平面阵列上；一被测试红外焦平面阵列；②驱动控制模块包括：一偏压控制模块：向被测红外焦平面阵列器件提供工作所需的低噪直流偏压；一温度控制模块：向被测红外焦平面阵列器件提供温度控制，保证温度的均匀性；一时序控制模块：控制各模块之间能同步协调工作；③数据采集处理模块包括：一模拟-数字信号转换器：转换数字信号或模拟信号；一视频输出模块：将模拟信号在显示器上成像；一数据采集卡：采集经转换后的数字信号并传输到计算机；一数据分析处理模块：对采集到的信号进行分析处理；④所述偏压控制模块连接被测红外焦平面阵列器件，提供工作所需的低噪直流偏压；所述温度控制模块连接被测红外焦平面阵列器件，控制其温度的均匀性；所述时序控制模块同时连接被测红外焦平面阵列器件、模拟-数字信号转换器和数据采集卡，向被测红外焦平面阵列器件提供时序控制，使其内部的读出电路能正常工作，同时还向模拟-数字信号转换器和数据采集卡提供同步信号，确保三者能同步协调工作；所述红外辐射源通过光学系统准直后聚焦到被测红外焦平面阵列器件上，通过模拟-数字信号转换器将模拟信号输送给视频输出模块在显示器上成像，另还将模拟信号输送给数据采集卡，由数据采集卡传到计算机，由数据分析处理模块进行数据分析处理，得到被测红外焦平面的特性参数。