[发明专利]陶瓷压力传感器压力芯片零位电阻的激光修调方法

摘要

一种陶瓷压力传感器压力芯片零位电阻的激光修调方法，其特征是它包括以下步骤：首先，给惠斯顿电桥的两个桥臂上各串接一个可修调电阻；其次，给惠斯顿电桥施加5V的直流电压；第三，利用高精度数字电压仪实时测量惠斯顿电桥两个电极之间的电压值，即将高精度数字电压仪的正极与每侧电桥二个固定电阻之间的连接点相连，将高精度数字电压仪的负极与电源负极相连，分别测量得到两个电桥的电压值U1、U2；第四，将所测得的两个电压值U1、U2输入激光修调仪中，将两个电压值进行比较，利用光斑的面积不大于0.0484μm2的激光束对需修调电阻进行修调，使(U1-U2)＝0±0.5mV即可。本发明具有自动化程度高，一致性好，产品合格率高，生产效率提高20倍以上。

主权项

一种陶瓷压力传感器压力芯片零位电阻的激光修调方法，其特征是它包括以下步骤：首先，给惠斯顿电桥的两个桥臂上各串接一个可修调电阻；其次，给惠斯顿电桥施加5V的直流电压；第三，利用高精度数字电压仪实时测量惠斯顿电桥两个电极之间的电压值，即将高精度数字电压仪的正极与每侧电桥二个固定电阻之间的连接点相连，将高精度数字电压仪的负极与电源负极相连，分别测量得到两个电桥的电压值U1、U2；第四，将所测得的两个电压值U1、U2输入激光修调仪中，将两个电压值进行比较，如果两者的差值在0±0.5mV范围内，则判为合格品，无需修调，如果两者的差值(U1-U2)＞0.5mV或(U1-U2)＜-0.5mV，则需进行修调；如果(U1-U2)＞0.5mV，则由激光修调仪对U2侧对应的可修调电阻进行逐点修调，控制激光修调仪每次修调光斑的面积不大于0.0484μm2，激光修调仪每修调一点，高精度数字电压仪实时将所测的电桥的电压值送入激光修调仪进行比较，如果仍(U1-U2)仍＞0.5mV，则激光修调仪作进给再对U2侧电桥对应的可修调电阻作一次点切割，直至(U1-U2)＝0±0.5mV为止；反之，如果(U1-U2)＜-0.5mV，则采用与(U1-U2)＞0.5mV时相同的修调方法对U1侧电桥对应的可修调电阻进行逐点修调，使(U1-U2)＝0±0.5mV为止即可。