[发明专利]对多孔产品进行致密化的装置和方法

摘要

对多孔产品进行致密化的装置和方法。特别地，所公开的方法和装置通过选择性地提供一种屏障而使得基质能够更加完全地致密化(即，致密化更加接近基质的表面)，所述屏障减少了由比诸如碳的致密化材料的温度相对较低的沸腾液体前体接触引起的被致密化的基质表面的冷却。特别地，基质和液体前体之间的接触通过使用物理屏障(例如网格材料)或结构(例如与多孔基质的表面接近地分离的板)的一者或者二者而减少，所述结构促进了在基质和液体前体之间形成隔绝气体层。所述屏障在接近薄膜沸腾致密化工序的末期时应用的能量水平急剧增加(这是已知的)之前移动至操作位置。

主权项

一种对多孔基质进行致密化的方法，包括：在反应腔室中，将多孔基质浸入在液体前体中，从而使得所述液体前体渗透所述多孔基质中的毛孔；以及使用第一能量水平，将浸入的多孔基质感应加热至足以使得液体前体使得分解产品热解并沉积在所述基质的所述毛孔内的温度，以对所述多孔基质进行致密化；在所述多孔基质内的致密化区域接近所述多孔基质的外表面时将能量水平增加至所述第一能量水平之上；其特征在于，所述方法包括当所述能量水平增加至所述第一能量水平之上时将一种屏障移动为至少接近所述多孔基质的表面，所述屏障构造和布置为允许所述液体前体和所述多孔基质之间的一些接触。