[发明专利]一种化学机械研磨中的研磨液供应系统

摘要

本发明提供一种化学机械研磨中的研磨液供应系统，其泵装置采用磁悬浮泵，研磨液盛桶通过管道与所述磁悬浮泵的研磨液入口相连接，所述磁悬浮泵的研磨液出口通过管道将研磨液输向研磨液供给出口，所述研磨液供给出口包含研磨液回流出口，所述研磨液回流出口通过管道与所述研磨液盛桶相连接形成回流通路，所述压力传感器设置于所述回流通路上，所述压力传感器与所述控制器连接，所述控制器与所述磁悬浮泵的控制电压输入端相连接。本发明的研磨液供应系统不易产生研磨液颗粒的聚集，使研磨液的流量平稳，解决了传统轴承使用润滑油带来的润滑油脂产生的油蒸汽返流会对真空室产生污染的问题。

主权项

一种化学机械研磨中的研磨液供应系统，包括研磨液盛桶、泵、研磨液供给出口、压力传感器及控制器，其特征在于，所述泵为磁悬浮泵，所述磁悬浮泵包括研磨液入口、研磨液出口及控制电压输入端，所述研磨液盛桶通过管道与所述磁悬浮泵的研磨液入口相连接，所述磁悬浮泵的研磨液出口通过管道将研磨液输向所述研磨液供给出口，所述研磨液供给出口包含研磨液回流出口，所述研磨液回流出口通过管道与所述研磨液盛桶相连接形成回流通路，所述压力传感器设置于所述回流通路上，所述压力传感器的压力感应信号出口与所述控制器的信号输入端连接，所述控制器的电流控制信号输出端与所述磁悬浮泵的控制电压输入端相连接。