[发明专利]液滴喷出装置、电光学装置及其制造方法、电子设备

摘要

本发明提供一种能够将液滴喷出量的测定结果迅速地反映到功能液滴喷出头的驱动电力上的液滴喷出装置，其具备：针对工件在使喷墨方式的功能液滴喷出头(17)相对移动的同时从功能液滴喷出头(17)喷出功能液滴而进行描绘的描绘机构；与描绘机构邻接配设、且根据从功能液滴喷出头(17)喷出的功能液的重量来测定液滴喷出量的重量测定机构(51)；和基于从重量测定机构(51)输入的测定结果而对功能液滴喷出头(17)的驱动电力进行控制的控制机构(5)。

主权项

一种液滴喷出装置，其特征在于，具备：描绘机构，其具有使搭载基板的设置基台沿X轴方向移动的X轴基台；支架，其搭载了向上述基板喷出功能液的液滴喷出头；重量测定单元，其测定从上述液滴喷出头喷出的功能液的重量；清净机构；和Y轴基台，其使上述支架沿Y轴方向移动，使描绘机构、重量测定单元以及清净机构间移动，上述重量测定单元在上述Y轴方向上配置在上述X轴基台和上述清净机构之间。