[发明专利]一种多喷头射频等离子体发生器无效
| 申请号： | 201010169555.0 | 申请日： | 2010-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN102244970A | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 王守国 | 申请（专利权）人： | 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 |
| 主分类号： | H05H1/30 | 分类号： | H05H1/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴市南*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多喷头射频等离子体发生器，包括多个射频电源和多个等离子体喷管等，其特征为：多个等离子体喷管是安装在一个平面支架上，多个喷管的喷口构成一个水平面，其中每个等离子体喷管是由一个包覆金属管电极的石英管以及石英管喷口外的一个圆环电极构成，石英管所包覆的管电极的一端是在石英管内，另一端是在管外，一个射频电源分别与石英管中的内电极和其外电极连接，石英管所包覆的金属管电极与一个进气管连接，进气管的另一端是通过气体减压阀与气瓶连接，当气体通过石英管所包覆的金属管电极的端部时电离生成等离子体，并由石英管的喷口喷出。该系统可以用于对较大面积热敏感材料的表面处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷头 射频 等离子体 发生器 | ||
【主权项】：
本发明公开了一种多喷头射频等离子体发生器，包括多个射频电源和多个等离子体喷管等，其特征为：多个等离子体喷管是安装在一个平面支架上，多个喷管的喷口构成一个水平面，其中每个等离子体喷管是由一个包覆金属管电极的石英管以及石英管喷口外的一个圆环电极构成，石英管所包覆的管电极的一端是在石英管内，另一端是在管外，一个射频电源分别与石英管中的内电极和其外电极连接，石英管所包覆的金属管电极与一个进气管连接，进气管的另一端是通过气体减压阀与气瓶连接，当气体通过石英管所包覆的金属管电极的端部时电离生成等离子体，并由石英管的喷口喷出。
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