[发明专利]用于卧式扩散炉的扩散均流板无效
申请号: | 201010170368.4 | 申请日: | 2010-05-10 |
公开(公告)号: | CN102242401A | 公开(公告)日: | 2011-11-16 |
发明(设计)人: | 张忠卫 | 申请(专利权)人: | 上海神舟新能源发展有限公司;上海太阳能科技有限公司 |
主分类号: | C30B31/04 | 分类号: | C30B31/04;H01L31/18 |
代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人: | 杨元焱 |
地址: | 201112 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种用于卧式扩散炉的扩散均流板,包括进口管、出口管和连接在进口管和出口管之间的多个连通管,其中的连通管为中空波纹管形连通管。采用本发明的用于卧式扩散炉的扩散均流板,可使POCl3气体更均匀地通过,将扩散工艺的片内均匀性提高至波动范围为±3%、片间均匀性提高至波动范围为±5%。从而使POCl3气体能够更均匀地和硅片反应。 | ||
搜索关键词: | 用于 卧式 扩散 均流板 | ||
【主权项】:
一种用于卧式扩散炉的扩散均流板,包括进口管、出口管和连接在进口管和出口管之间的多个连通管,其特征在于:所述的连通管为中空波纹管形连通管。
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