[发明专利]用于卧式扩散炉的扩散均流板无效

专利信息
申请号: 201010170368.4 申请日: 2010-05-10
公开(公告)号: CN102242401A 公开(公告)日: 2011-11-16
发明(设计)人: 张忠卫 申请(专利权)人: 上海神舟新能源发展有限公司;上海太阳能科技有限公司
主分类号: C30B31/04 分类号: C30B31/04;H01L31/18
代理公司: 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 代理人: 杨元焱
地址: 201112 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供了一种用于卧式扩散炉的扩散均流板,包括进口管、出口管和连接在进口管和出口管之间的多个连通管,其中的连通管为中空波纹管形连通管。采用本发明的用于卧式扩散炉的扩散均流板,可使POCl3气体更均匀地通过,将扩散工艺的片内均匀性提高至波动范围为±3%、片间均匀性提高至波动范围为±5%。从而使POCl3气体能够更均匀地和硅片反应。
搜索关键词: 用于 卧式 扩散 均流板
【主权项】:
一种用于卧式扩散炉的扩散均流板,包括进口管、出口管和连接在进口管和出口管之间的多个连通管,其特征在于:所述的连通管为中空波纹管形连通管。
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