[发明专利]等离子体处理装置

摘要

本发明提供一种等离子体处理装置，其易于形成等离子体电位低且更加稳定的高密度的等离子体，并且能够更加简单且准确地控制等离子体处理的均匀性。该等离子体处理装置包括：在处理室(102)内载置晶片的载置台(110)；以与载置台相对的方式隔着板状电介质(104)配置的由内侧天线元件(142A)和外侧天线元件(142B)构成的平面状的高频天线(140)；和以覆盖高频天线的方式设置的屏蔽部件(160)，各天线部件构成为分别将其两端开放并且将中点或者中点附近接地，分别以来自不同的高频电源的高频的1/2波长谐振。

主权项

一种等离子体处理装置，通过在减压的处理室内生成处理气体的感应耦合等离子体来对被处理基板实施规定的等离子体处理，该等离子体处理装置的特征在于，包括：设置在所述处理室内、用于载置所述被处理基板的载置台；向所述处理室内导入所述处理气体的气体供给部；对所述处理室内进行排气减压的排气部；以与所述载置台相对的方式隔着板状电介质配置的平面状的高频天线；和以覆盖所述高频天线的方式设置的屏蔽部件，所述高频天线包括配置在所述板状电介质上的中央部的内侧天线元件和以包围其外周的方式配置在所述板状电介质上的周边部的外侧天线元件，这些天线元件分别按照如下方式构成：两端开放且中点或者其附近接地，并且分别以来自不同的高频电源的高频的1/2波长谐振。