[发明专利]真空动密封精确传动装置

摘要

本发明公开了一种真空动密封精确传动装置，所述真空动密封精确传动装置还包括测速组件，该测速组件包括光电传感器、感应片及传感器固定座，光电传感器固定在传感器固定座上，光电传感器的一侧的两端水平凸伸形成两检测臂，感应片同轴固定在向真空腔体内传输动力的齿轮轴上并位于两检测臂之间，结构紧凑，感应片上开设有通槽，光电传感器从一检测臂的一端发送光信号至另一检测臂，当通槽随感应片转动到与两检测臂位于同一平面时，光信号能有效被另一检测臂所接收。本发明的真空动密封精确传动装置通过光电传感器与感应片的配合可记录电机启动的起始位置，并可同步检测电机传给齿轮轴的实际转速，能在保证真空洁净度的同时实现精确、平稳的传动。

主权项

一种真空动密封精确传动装置，包括齿轮轴、提供真空环境的真空腔体及位于所述真空腔体外的动密封组件、动密封组件固定座、第一联轴器、电机、电机固定座，所述动密封组件固定座的一端固定在所述真空腔体的侧壁上，所述动密封组件固定座的另一端与所述电机固定座固定连接，所述动密封组件固定座开设有空腔，所述动密封组件固定在所述动密封组件固定座上并容置在所述空腔内，所述第一联轴器容置在所述空腔内并位于所述动密封组件与所述电机固定座之间，所述电机固定座上开设有安装孔，所述电机固定在所述电机固定座上，所述电机具有输出轴，所述输出轴穿过所述安装孔与所述第一联轴器连接，所述真空腔体的侧壁对应所述动密封组件的部位开设有通孔，所述齿轮轴的一端与所述第一联轴器连接，另一端穿过所述动密封组件及所述通孔伸入至真空腔体内，所述齿轮轴分别与所述动密封组件及通孔枢接，其特征在于，还包括有测速组件，所述测速组件包括光电传感器、感应片及传感器固定座，所述传感器固定座固定在所述电机固定座上，所述光电传感器固定在所述传感器固定座上，所述光电传感器的一侧的两端水平凸伸形成两检测臂，所述检测臂穿过所述动密封组件固定座并深入所述空腔内，所述感应片同轴固定在所述齿轮轴上并位于所述光电传感器的两检测臂之间，所述感应片上开设有通槽，所述光电传感器从一检测臂的一端发送光信号至另一检测臂。