[发明专利]一种真空蒸镀设备及其蒸镀方法无效
| 申请号： | 201010172030.2 | 申请日： | 2010-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN101845611A | 公开（公告）日： | 2010-09-29 |
| 发明（设计）人： | 孙鲁;江灏 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 禹小明 |
| 地址： | 510275 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空蒸镀设备，包括蒸镀腔、与蒸镀腔相连通的真空泵、设于蒸镀腔内的金属源区域及样品固定区域，还包括一个或多个能遮挡样品固定区域的挡板及驱动挡板开合动作的挡板驱动装置，该金属源区域包括一种或多种金属源，该样品固定区域包括一种或多种样品。同时本发明还涉及一种真空蒸镀方法。本发明不但可以提高蒸镀工艺的效率，而且可以节约蒸镀金属源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 设备 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种真空蒸镀设备，包括蒸镀腔、与蒸镀腔相连通的真空泵、设于蒸镀腔内的金属源区域及样品固定区域，其特征在于，还包括一个或多个能遮挡样品固定区域的挡板及驱动挡板开合动作的挡板驱动装置，该金属源区域包括一种或多种金属源，该样品固定区域包括一种或多种样品。
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