[发明专利]基于多波前透镜补偿器的非球面绝对测量系统有效
| 申请号： | 201010172118.4 | 申请日： | 2010-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN101876540A | 公开（公告）日： | 2010-11-03 |
| 发明（设计）人： | 侯溪;伍凡;万勇建;吴永前;吴高峰;杨鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 卢纪 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 基于多波前透镜补偿器的非球面绝对测量系统包括相移干涉仪、标准镜头、由多个光学元件或元件组构成的多波前透镜补偿器、电控调整装置及驱动器、被测非球面光学元件、六维调整架、电控平移台及驱动器、计算机控制及数据处理系统。本发明通过多次干涉测量实现误差分离以提高非球面光学元件面形检测精度，同时具有一定的柔性测量范围，具有较大的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 多波前 透镜 补偿 球面 绝对 测量 系统 | ||
【主权项】：
基于多波前透镜补偿器的非球面绝对测量系统，其特征在于：包括相移干涉仪(1)、标准镜头(2)、由至少2个以上光学元件或元件组(3，4)构成的多波前透镜补偿器(5)、电控调整装置(6)、安装在六维调整架上的被测非球面光学元件(8)、六维调整架(9)、电控平移台(10)和计算机控制及数据处理系统(12)；通过计算机控制及数据处理系统(12)控制安装在电控调整装置(6)上的多波前透镜补偿器(5)各个光学元件或元件组(3，4)之间的间隔，使得相移干涉仪(1)经过标准镜头(2)出射的测试光通过多波前透镜补偿器(5)后在光轴方向二个不同位置产生与被测非球面光学元件(8)匹配的非球面测试波前，通过六维调整架(9)对被测非球面光学元件(8)在第一个轴向位置多次旋转不同角度，由相移干涉仪(1)进行测量，然后通过计算机控制控制及数据处理系统(12)控制电控平移台(10)使得安装在六维调整架(9)上的被测非球面光学元件(8)沿着光轴方向移动到另一个与透镜补偿器(5)出射非球面波前相匹配的位置并旋转不同角度，由相移干涉仪(1)进行多次干涉测量，最后对上述多次干涉测量结果由计算机控制及数据处理系统(12)进行数据处理分离出被测非球面光学元件面形误差信息，实现绝对测量。
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