[发明专利]一种调整洛艾镜装置中洛艾镜与光栅基底垂直度的方法无效
| 申请号： | 201010172802.2 | 申请日： | 2010-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN101819323A | 公开（公告）日： | 2010-09-01 |
| 发明（设计）人： | 孔鹏;李文昊;巴音贺希格;齐向东;唐玉国 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B5/18 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 刘树清 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种调整洛艾镜装置中洛艾镜与光栅基底垂直度的方法，属于光谱技术领域中涉及的一种调整洛艾镜与光栅基底垂直度的方法。要解决的技术问题是：提供一种调整洛艾镜装置中洛艾镜与光栅基底垂直度的方法。技术方案为：步骤一、建立一套平面全息光栅制作所用的洛艾镜装置；步骤二、制备一个刻有两条正交直线的大平板；步骤三、在洛艾镜装置中置入大平板和两个He-Ne激光器，使两个He-Ne激光器的出射光束分别沿大平板上的两条正交直线入射到洛艾镜和光栅基底上，并使两反射光束分别按原路返回两个He-Ne激光器的出光孔。该方法能快速准确的调整洛艾镜与光栅基底的垂直度，对制作出高质量的平面全息光栅有直接的重要意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调整 洛艾镜 装置 中洛艾镜 光栅 基底 垂直 方法 | ||
【主权项】：
一种调整洛艾镜装置中洛艾镜与光栅基底垂直度的方法，其特征在于：步骤一、配备一套平面全息光栅洛艾镜干涉装置，包括光源激光器(1)、第一平面反射镜(2)、第二平面反射镜(3)、空间滤波器(4)、准直反射镜(5)、洛艾镜(6)和光栅基底(7)，光源激光器(1)发出的激光束经第一平面反射镜(2)和第二平面反射镜(3)反射到达空间滤波器(4)，激光束经过空间滤波器(4)后成为发散的球面光波，再经准直反射镜(5)反射成为平行光束，平行光束的一部分经洛艾镜(6)反射后与另一部分平行光束交汇形成干涉场(8)，光栅基底(7)置于干涉场(8)内，光栅基底(7)的曝光面与洛艾镜(6)的反射面之间的夹角φ＝90°，θ为反射光线同洛艾镜(6)所成夹角，同时也是入射光线同洛艾镜(6)所成夹角，它等于形成干涉场的两束光之间的夹角即干涉夹角的一半，称为干涉半角，它决定了干涉场的周期；步骤二、制备一个大平板(9)，大平板(9)的上表面刻有用计算机绘制的两条相互垂直的直线，即第一直线(10)和第二直线(11)，将大平板(9)固定在五维调整装置(14)上，通过调整五维调整装置(14)，大平板(9)可以上下、前后、左右、旋转、俯仰五个方向自由运动；步骤三、将固定装有大平板(9)的五维调整装置(14)、第一激光器(12)和第二激光器(13)置于平面全息光栅制作所用的洛艾镜干涉装置中洛艾镜(6)和光栅基底(7)所在的部位，使第一激光器(12)的出射光轴、第二激光器(13)的出射光轴以及大平板(9)的上表面位于同一水平面内，使第一激光器(12)的出射光经洛艾镜(6)反射后的反射光按原路返回第一激光器(12)的出光孔，调整大平板(9)使第一直线(10)与第一激光器(12)的出射光束重合，调整第二激光器(13)使其出射光束沿第二直线(11)入射在光栅基底(7)表面，调整光栅基底(7)使第二激光器(13)的出射光束经光栅基底(7)的反射光束沿第二直线(11)返回第二激光器(13)的出光孔；至此，洛艾镜(6)与光栅基底(7)的垂直度调整完毕。
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