[发明专利]真空镀膜机扩散泵的循环冷却水系统有效
| 申请号： | 201010173328.5 | 申请日： | 2010-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN101831609A | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 张显;曹全喜;陈启超 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 陕西电子工业专利中心 61205 | 代理人： | 王品华;朱红星 |
| 地址： | 710071*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空镀膜机扩散泵的冷却系统。它包括两个水箱、水泵、真空镀膜设备及控制水阀，该一号水箱底端出水管道a依次经过第一水阀(1)、第一水泵M1和第二水阀(2)，接到真空镀膜机的冷却水进水口，形成真空镀膜机的冷却水进水管路，一号水箱底端出水管道b接到二号水箱底端出水管道c，形成排水管路，一号水箱的进水管道f依次经过第四水阀(4)和第二水泵M2，接到二号水箱的底端出水管道d，形成从二号水箱到一号水箱的水流通路；该二号水箱的顶部入水管道e经过第三水阀(3)接到设备的出水口，形成从真空镀膜机到二号水箱的水流通路，实现水的循环。本发明避免了水浪费和环境污染，可用于高等学校实验室的真空镀膜实验。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 扩散 循环 冷却水 系统 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜机扩散泵的循环冷却水系统，包括：循环水存储容器、水流回路管道、水泵、真空镀膜设备以及控制水阀，其特征在于循环水存储容器采用两个水箱，该一号水箱底端出水管道a依次经过第一水阀(1)、第一水泵M1和第二水阀(2)，连接到真空镀膜机的冷却水进水口，形成真空镀膜机的冷却水进水管路，一号水箱底端出水管道b连接到二号水箱底端出水管道c，形成排水管路，一号水箱的进水管道f依次经过第四水阀(4)和第二水泵M2，连接到二号水箱的底端出水管道d，形成从二号水箱到一号水箱的水流通路；该二号水箱的顶部入水管道e经过第三水阀(3)连接到设备的出水口，形成从真空镀膜机到二号水箱的水流通路。
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