[发明专利]测量镜面反射表面的相对位置的方法和装置有效
申请号: | 201010173741.1 | 申请日: | 2010-04-30 |
公开(公告)号: | CN101876534A | 公开(公告)日: | 2010-11-03 |
发明(设计)人: | S·波塔彭科 | 申请(专利权)人: | 康宁股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02;G01C3/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 刘佳 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 提供了一种用于测量对象的镜面反射面沿测量线的相对位置的方法。该方法包括将至少一个会聚光束会聚于测量线上的标称位置处,并形成来自该镜面反射面的反射束。该反射束的图像在检测器平面处被记录。反射束的图像在检测器平面上的位置被确定并转换成镜面反射面沿测量线离标称位置的位移。还提供了用于实现该方法的装置。 | ||
搜索关键词: | 测量 反射 表面 相对 位置 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种用于测量对象的镜面反射面沿测量线的相对位置的方法,包括:(a)将至少一个会聚光束会聚于所述测量线上的标称位置处,并形成来自所述镜面反射面的反射束;(b)在检测器平面处记录所述反射束图像;(c)确定所述反射束的所述图像在所述检测器平面中的位置;以及(d)将所述反射束的所述图像的位置转换成所述镜面反射面沿所述测量线离所述标称位置的位移。
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