[发明专利]通过丝网印刷来印刷具有两个叠加层的导体的方法无效
| 申请号： | 201010174106.5 | 申请日： | 2010-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN101856920A | 公开（公告）日： | 2010-10-13 |
| 发明（设计）人： | A·贝迪内利 | 申请（专利权）人： | 原子能及能源替代委员会 |
| 主分类号： | B41M1/12 | 分类号： | B41M1/12;B41F15/12;H01L31/18 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 马浩 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明为通过丝网印刷来印刷具有两个叠加层的导体的方法。通过丝网印刷在晶片(1)上印刷的方法，其特征在于包括以下步骤：在晶片(1)的表面(4)上产生至少两个第一测试图案(5a-5d)；在通过丝网印刷在晶片(1)的表面(4)上印刷期间，印刷至少四个区别于所述至少两个第一测试图案(5a-5d)的第二测试图案(6a-6d)；测量在晶片(1)的表面(4)上获得的第一测试图案(5a-5d)与第二测试图案(6a-6d)之间的实际距离；将该实际距离与理论距离相比较，以推导所述印刷的丝网印刷丝网(25)的偏移。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 丝网 印刷 具有 两个 叠加 导体 方法 | ||
【主权项】：
通过丝网印刷在晶片(1)上印刷的方法，其特征在于包括以下步骤：-在晶片(1)的表面(4)上产生至少两个第一测试图案(5a-5d)；-在通过丝网印刷在晶片(1)的表面(4)上印刷期间，印刷至少四个区别于所述至少两个第一测试图案(5a-5d)的第二测试图案(6a-6d)；-测量在晶片(1)的表面(4)上获得的第一测试图案(5a-5d)与第二测试图案(6a-6d)之间的实际距离；-将该实际距离与理论距离相比较，以推导所述印刷的丝网印刷丝网(25)的偏移。
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