[发明专利]形成具有排热结构的垂直结构发光二极管的方法无效
| 申请号： | 201010175007.9 | 申请日： | 2010-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN102097558A | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 陈学龙;枫政国;张简庆华;陈彰和 | 申请（专利权）人： | 华新丽华股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/12 | 分类号： | H01L33/12 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国台湾326桃园*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明揭露一种形成具有排热结构的垂直结构发光二极管(LED)的方法，包括以下步骤：a)提供蓝宝石基板；b)在蓝宝石基板上沉积多个凸部，其高度为p；c)形成具有多个凹部的缓冲层，凹部的深度q小于p，以致当凸部容纳于缓冲层的凹部时，在其间形成多个间隙；d)在缓冲层上生长多个发光层，具有形成于发光层和缓冲层间的介质层；e)蚀刻穿透发光层和缓冲层来形成排热用的通道；f)通过准分子激光剥离(LLO)来移除蓝宝石基板和凸部；g)粗化介质层；以及h)在粗化的介质层上沉积电极。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 具有 结构 垂直 发光二极管 方法 | ||
【主权项】：
一种形成具有排热结构的垂直结构发光二极管(LED)的方法，其特征在于，包括以下步骤：a)提供蓝宝石基板；b)在蓝宝石基板上沉积复数个凸部，其高度为p；c)形成具有复数个凹部的缓冲层，所述凹部的深度q小于p，以致当凸部容纳于缓冲层的凹部时，在其间形成复数个间隙，以利排热；d)在缓冲层上生长复数个发光层，具有形成于复数个发光层和缓冲层间的介质层；e)蚀刻穿透复数个发光层和缓冲层来形成通道，以利排热；f)通过准分子激光剥离来移除蓝宝石基板和凸部；g)粗化介质层；以及h)在粗化的介质层上沉积电极。
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