[发明专利]宽谱宽角吸收太阳电池类蛾眼减反结构及其制作方法

摘要

本发明涉及一种基于单晶硅衬底的宽谱宽角吸收太阳电池类蛾眼减反结构及其制作方法，其特征在于借助仿生学原理，采用类蛾眼微纳结构作为减反层，增加光能捕获；微纳结构是采用拉膜(LM)法形成密集单层硅或硅化物颗粒网络，作为掩模形成的；采用干法刻蚀工艺，刻蚀单晶Si，形成微纳结构，避免了湿法腐蚀腐蚀深度受限的不足；调节掩模颗粒大小和密度，来调节类蛾眼微纳结构的光学折射系数梯度，实现0-60度宽入射光的宽角度吸收；采用调节微纳结构的尺寸(20-800纳米)、深度和周期性的方法，实现红外、可见、紫外(250纳米-2.5微米)的宽谱段光能吸收，从而提高电池效率。

主权项

一种宽谱宽角吸收太阳电池类蛾眼减反结构，其特征在于：①借鉴夜蛾复眼表面结构，以晶体硅为衬底采用类蛾眼微纳结构作为减反层；②所述的微纳结构是采用拉膜法形成密集单层纳米硅或硅化物固体颗粒网络，充当掩膜采用干法刻蚀工艺，刻蚀晶体硅形成的；③所述的微纳结构是由周期性或准周期性高度在20纳米-10微米范围可调，直径在20纳米-10微米可调的硅圆柱体紧密排列而成的。