[发明专利]磨削装置无效
申请号: | 201010176762.9 | 申请日: | 2010-04-23 |
公开(公告)号: | CN101890668A | 公开(公告)日: | 2010-11-24 |
发明(设计)人: | 五木田洋平 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | B24B7/22 | 分类号: | B24B7/22;H01L21/301 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 陈坚 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供一种能够抑制在磨削中工件因脱落磨粒等而破损的磨削装置。该磨削装置包括:保持工作台,其将经由粘接带支承于环状框架的开口部的工件保持为能够旋转;和磨削构件,其具有对保持在该保持工作台上的工件进行磨削的磨削磨具,该磨削装置的特征在于,该保持工作台包括:具有对粘贴有所述工件的所述粘接带进行吸引保持的吸附面的吸附卡盘;围绕该吸附卡盘的框体;和固定该环状框架的框架固定构件,所述吸附面具有:中心吸附面,其吸引保持所述粘接带中的粘贴有所述工件的部分;和外周吸附面,其围绕该中心吸附面,并且吸引保持所述粘接带中的没有粘贴所述工件的部分,所述中心吸附面相对于所述外周吸附面凸出预定的高度。 | ||
搜索关键词: | 磨削 装置 | ||
【主权项】:
一种磨削装置,其包括:保持工作台,该保持工作台将经由粘接带支承于环状框架的开口部的工件保持为能够旋转;和磨削构件,该磨削构件具有对保持在该保持工作台上的工件进行磨削的磨削磨具,该磨削装置店特征在于,所述保持工作台包括:吸附卡盘,其具有对粘贴有所述工件的所述粘接带进行吸引保持的吸附面;围绕该吸附卡盘的框体;和固定该环状框架的框架固定构件,所述吸附面具有:中心吸附面,该中心吸附面吸引保持所述粘接带中的粘贴有所述工件的部分;和外周吸附面,该外周吸附面围绕该中心吸附面,并且吸引保持所述粘接带中的没有粘贴所述工件的部分,所述中心吸附面相对于所述外周吸附面凸出预定的高度。
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