[发明专利]一种互注入锁定的二维表面发射激光器阵列

摘要

本发明涉及激光器装置，特别是一种互注入锁定的二维表面发射激光器阵列，该发明包括表面发射分布反馈半导体激光器阵列及固定在x方向上的外出光端面上的二次反射直角棱镜，该棱镜斜边平行于激光器阵列上的相邻两行的行首端或行尾端两个激光器的外出光端面，其中行平行x轴，列平行y轴，其斜边长度大于这两个激光器的前端面和后端面间的距离，其厚度大于多量子阱层厚度，表面发射分布反馈半导体激光器阵列内有二阶光栅，该光栅是部分刻槽的多量子阱层和上波导层或者是部分刻槽的上波导层和上包层契合组成的周期结构，或者是部分刻槽的接触层和镀在接触层上的上电极组成的金属光栅。本发明结构简单，性能稳定，成本低，得到高功率、高相干性激光。

主权项

一种互注入锁定的二维表面发射激光器阵列装置，包括表面发射分布反馈半导体激光器阵列(14)，表面发射分布反馈半导体激光器阵列(14)包括衬底(1)、缓冲层(2)、下波导层(3)、多量子阱层(4)、上波导层(5)、上包层(7)和接触层(8)，衬底(1)上面依次长有缓冲层(2)、下波导层(3)、多量子阱层(4)、上波导层(5)、上包层(7)和接触层(8)，其特征在于，该装置还包括二次反射直角棱镜(15)，二次反射直角棱镜(15)固定在表面发射分布反馈半导体激光器阵列(14)的x方向上的外出光端面(17)上，二次反射直角棱镜(15)的斜边平行于表面发射分布反馈半导体激光器阵列(14)上的相邻两行的行首端或行尾端的两个激光器(16)的外出光端面(17)，其中的行平行于x轴的方向，列平行于y轴的方向，其斜边的长度大于相邻两行的行首端或行尾端的两个激光器中的前激光器的前端面(18)和后激光器的后端面(19)之间的距离，二次反射直角棱镜(15)的厚度大于多量子阱层(4)的厚度，所说的表面发射分布反馈半导体激光器阵列(14)内长有二阶光栅(6)，所说的二阶光栅(6)是部分刻槽的多量子阱层(4)和上波导层(5)契合组成的周期结构，或者是由部分刻槽的上波导层(5)和上包层(7)契合组成的周期结构，或者是由部分刻槽的接触层(8)和镀在接触层上的上电极(9)组成的金属光栅。