[发明专利]对称组合弹性梁结构电容式微加速度传感器及制作方法

摘要

本发明涉及对称组合弹性梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法。加速度传感器由一个对称的中心质量块、外部支撑框架、中心质量块与外部支撑框架相连接的八根对称直梁、两个对称框架梁、八根对称L梁连接在一起形成的组合弹性梁结构以及上、下盖板组成。与框架梁相连接的每根直弹性梁的另一端连接在中心质量块侧面顶端和底端的中间或顶角，与框架梁相连接的每根L梁的另一端连接在外部支撑框架内侧面。本加速度传感器采用对称直梁、框架梁、L梁连接在一起形成的组合弹性梁结构，具有高度对称性，可以显著减小传感器的交叉灵敏度，传感器采用微电子机械系统技术制作，是一种高灵敏度的电容式微加速度传感器。

主权项

对称组合弹性梁结构电容式微加速度传感器，其特征在于所述的微加速度传感器包括一个对称的中心质量块、外部支撑框架、中心质量块与外部支撑框架相连接的组合弹性梁结构以及上、下盖板，其中，(1)中心质量块是由顶端质量块和底端质量块组成，组合弹性梁结构是由对称的顶端组合弹性梁和底端组合弹性梁组成，外部支撑框架是由上、下对称的顶端支撑框架和底端支撑框架组成；(2)中心质量块作为检测电容的可动电极，上、下盖板分别作为检测电容的固定电极，上、下盖板位于可动电极的上、下两面；(3)组合弹性梁结构由八根对称直弹性梁、两个对称框架梁、八根对称L梁连接在一起形成；(4)组合弹性梁结构的一端连接在中心质量块侧面顶端和底端的中间或顶角，另一端连接在外部支撑框架内侧面；(5)中心质量块电极引线金属块位于外部支撑框架上表面，上盖板电极引线金属块位于上盖板的上表面，下盖板电极引线金属块位于下盖板的下表面。