[发明专利]一种微波水热制备六方片状硫化镉薄膜的方法

摘要

一种微波水热制备六方片状硫化镉薄膜的方法，将硫酸镉与油酸、去离子、正丁胺、硫化钠混合后调节pH值至3.0-11.0得镀膜液；将Si基板放置在水热反应釜中，并浸于镀膜液中；密封水热反应釜，将其放入微波水热反应仪中进行微波水热反应，反应结束后自然冷却到室温，取出Si基板，分别用蒸馏水和无水乙醇清洗后，放入真空干燥箱内干燥即在基板表面获得六方片状硫化镉薄膜。由于本发明将微波法和水热法相结合，所得的硫化镉薄膜结晶良好，形貌完整，可重复性高，且反应周期短、反应温度低，大大降低了能耗，节约了成本，并且操作简单，重复性好，适合大规模生产。

主权项

一种微波水热制备六方片状硫化镉薄膜的方法，其特征在于包括以下步骤：1)取0.50-10.00g的分析纯的硫酸镉置于烧杯中，向烧杯中滴加1-5mL的油酸得混合物A；2)向混合物A中加入去离子水磁力搅拌配置成100mL的透明溶液B；3)向溶液B中加入1-10mL正丁胺，常温下超声波20min得溶液C；4)向溶液C中加入2.00-5.00g分析纯的硫化钠，常温下磁力搅拌得溶液D；5)调节溶液D的pH值至3.0-11.0得镀膜液；6)清洗基片：将Si基板分别在水中和无水乙醇中超声波震荡后，在体积比为1∶1的70％的硝酸和30％的双氧水混合的活化液中浸泡活化处理；7)将上述制备的镀膜液倒入水热反应釜中，填充度控制在50-80％；然后将已经活化处理后的Si基板放置在水热反应釜中，并浸于镀膜液中；密封水热反应釜，将其放入微波水热反应仪中；水热温度控制在120-200℃，压力控制在1.0-4.0MPa，微波功率控制在200-1000w，反应10min-30min；8)反应结束后自然冷却到室温，取出Si基板，分别用蒸馏水和无水乙醇清洗后，放入100℃的真空干燥箱内干燥即在基板表面获得六方片状硫化镉薄膜。