[发明专利]真空边缘夹持机构有效
| 申请号： | 201010183226.1 | 申请日： | 2010-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN102023487A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 魏猛;胡延兵 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/26 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及涂胶显影领域，具体为一种真空边缘夹持机构，用于在半导体晶片上获得均布光刻胶及光刻胶图形的涂胶显影设备。该机构设有夹持块、活塞、承片台、复位弹簧，承片台中开有活塞腔，活塞腔中设置活塞，活塞的一端设置复位弹簧于活塞腔内，活塞的另一端与夹持块连接，活塞腔与承片台下面的轴安装孔相通。本发明采用真空形式将两个夹持块向承片台中心部分夹紧，防止高速旋转时晶片脱落或飞出，同时对晶片进行对中处理，解决现有技术中晶片在进入到离心单元前都要做对中处理，整个处理过程时间长等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 边缘 夹持 机构 | ||
【主权项】：
一种真空边缘夹持机构，其特征在于：该机构设有夹持块、活塞、承片台、复位弹簧，承片台中开有活塞腔，活塞腔中设置活塞，活塞的一端设置复位弹簧于活塞腔内，活塞的另一端与夹持块连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳芯源微电子设备有限公司，未经沈阳芯源微电子设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010183226.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种从乙烯裂解碳九重馏分提取甲基环戊二烯方法
- 下一篇：液压捣固机
