[发明专利]玻璃基板减薄蚀刻液及其制备方法与应用无效
| 申请号： | 201010186360.7 | 申请日： | 2010-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN101880129A | 公开（公告）日： | 2010-11-10 |
| 发明（设计）人： | 冯卫文 | 申请（专利权）人： | 合肥茂丰电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅 |
| 地址： | 安徽省合肥市合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了提供一种玻璃基板减薄蚀刻液及其制备方法与应用。该蚀刻液，是由硝酸、乙二胺四乙酸、水和下述两种磺酸中的至少一种组成：甲基磺酸和三氟甲磺酸。所述硝酸、乙二胺四乙酸和所述磺酸中的至少一种占所述蚀刻液总重的百分比分别为：20-40％、0.5-5％和5-35％，余量为水。本发明提供的玻璃基板减薄用蚀刻液，能够对平板显示玻璃基板进行减薄的安全、稳定、高效的蚀刻，并能够很好的解决蚀刻过程中产生的难溶性副产物问题，尤其适用于包括等离子体显示(PDP)、触摸屏(TP)、液晶显示(LCD)及有机电致发光(OLED)等平板显示领域中玻璃基板的减薄，具有重要的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 基板减薄 蚀刻 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
一种蚀刻液，是由硝酸、乙二胺四乙酸、水和磺酸组成，所述磺酸选自甲基磺酸和三氟甲磺酸中的至少一种。
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