[发明专利]拉晶炉初级吸尘储尘箱无效
申请号: | 201010186540.5 | 申请日: | 2010-05-31 |
公开(公告)号: | CN101831690A | 公开(公告)日: | 2010-09-15 |
发明(设计)人: | 周小伟 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06;B08B15/04 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 周祥生 |
地址: | 213200 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种拉晶炉初级吸尘储尘箱,包括筒体和筒盖,筒盖密封地设置在筒体的上口,在筒盖上开设真空管接口,筒体的内腔与吸尘管相通连,在筒体内设有第一过滤网板和第二过滤网板,二层过滤网板将筒体内分隔成存尘室、细尘室和真空室。从拉晶炉中吸入废气进入筒体内腔后,依次经过第一过滤网板、第二过滤网板和第三过滤网片的过滤,废气中灰尘颗粒经三层滤网过滤,大幅度减少了废气中灰尘对真空泵的侵害,提高真空泵的使用寿命,有效地解决了现有技术中存在的不足。 | ||
搜索关键词: | 拉晶炉 初级 吸尘 储尘箱 | ||
【主权项】:
一种拉晶炉初级吸尘储尘箱,其特征是:包括筒体(1)和筒盖(2),筒盖(2)密封地设置在筒体(1)的上口,在筒盖(2)上开设真空管接口(21),筒体(1)的内腔与吸尘管(32)相通连,其特征是:在筒体(1)内设有第一过滤网板(6)和第二过滤网板(7),二层过滤网板将筒体(1)内分隔成存尘室(4)、细尘室(8)和真空室(5)。
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