[发明专利]汽车通用压力传感器

摘要

一种汽车通用压力传感器由传感器壳体、硅压阻敏感芯体、传感器芯座、信号调理电路和汽车电器接口组成，硅压阻敏感芯体、传感器芯座和信号调理电路位于传感器壳体的内腔室，传感器壳体安装于该汽车电器接口，硅压阻敏感芯体由硅压阻敏感元件和玻璃环片组成，硅压阻敏感元件设有惠斯顿电桥，惠斯顿电桥上应变电阻通过焊接金丝内引线引出，硅压阻敏感元件和玻璃环片正面形成绝缘氧化层；玻璃环片另一面密封固定于传感器芯座上设有的环形凹坑面，传感器芯座密封旋固于传感器壳体上的进压端口，硅压阻敏感芯体上金丝内引线通过该传感器芯座之环形凹坑面上中心孔，引入到设于中心孔另一端的转接板后，并经信号调理电路由该汽车电器接口上引出。

主权项

一种汽车通用压力传感器，由传感器壳体、硅压阻敏感芯体、传感器芯座、信号调理电路、汽车电器接口组成，该硅压阻敏感芯体、传感器芯座和信号调理电路位于该传感器壳体的内腔室，该传感器壳体安装于该汽车电器接口，其特征在于，其中：1)该硅压阻敏感芯体由硅压阻敏感元件(1)和玻璃环片(2)组成，该硅压阻敏感元件(1)由圆平硅膜片(11)的正面依次覆盖有SiO2层(12)和Si3N4层(13)形成，该硅压阻敏感元件正面中部设有惠斯顿电桥，而周部裸露出硅膜片后，焊固于与硅有相似热膨胀系数的该玻璃环片(2)，该惠斯顿电桥上应变电阻(14)通过焊接金丝内引线(15)引出，该硅压阻敏感元件和玻璃环片正面形成绝缘氧化层；2)该玻璃环片(2)另一面密封固定于该传感器芯座(3)上设有的环形凹坑面，该传感器芯座(3)密封旋固于该传感器壳体上的进压端口，该硅压阻敏感芯体上金丝内引线(15)通过该传感器芯座之环形凹坑面上中心孔，引入到设于该中心孔另一端的转接板(4)后，并经该信号调理电路由该汽车电器接口(7)上引出；3)该传感器壳体由传感器基座(5)和旋固于该传感器基座(5)后形成内腔室的传感器外壳(6)组成，该传感器外壳(6)安装于该汽车电器接口(7)，该传感器基座(5)中部具有作为进压端口的台阶孔，该传感器芯座(3)通过螺纹密封胶旋固于该传感器基座(5)上台阶孔。