[发明专利]一种平板显示用显影液有效
申请号: | 201010188125.3 | 申请日: | 2010-05-31 |
公开(公告)号: | CN101872136A | 公开(公告)日: | 2010-10-27 |
发明(设计)人: | 冯卫文 | 申请(专利权)人: | 合肥茂丰电子科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/32 | 分类号: | G03F7/32 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人: | 关畅 |
地址: | 安徽省合肥市合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: |
本发明公开了一种平板显示用显影液。该显影液,由非离子表面活性剂、碱性化合物和去离子水组成,所述非离子表面活性剂选自式Ⅰ结构通式所示化合物中的至少两种。所述碱性化合物优选碳酸钠、碳酸氢钠和碳酸氢钾中的至少一种,占显影液总重量的1~15%,优选1~10%,更优选4~8%。非离子表面活性剂占显影液总重量的1~15%,优选1~10%,更优选5~9%。余量为去离子水。本发明提供的显影液,碳酸钠与非离子表面活性剂形成的水溶液具有良好的互溶性,具有显影性能好、无残渣、操作温度范围宽、环境污染少等特点,在感光性树脂的显影制备工艺中,具有广泛应用。 |
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搜索关键词: | 一种 平板 显示 显影液 | ||
【主权项】:
1.一种显影液,由非离子表面活性剂、碱性化合物和去离子水组成,所述非离子表面活性剂选自式Ⅰ结构通式所示化合物中的至少两种;
所述式Ⅰ结构通式中,R为烷基、烯烃基或炔烃基,m为所述烷基、烯烃基或炔烃基的碳原子总数,所述m为8-20的整数。
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