[发明专利]一种单腔多孔式节流结构的气体轴承有效
| 申请号： | 201010188385.0 | 申请日： | 2010-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN101825142A | 公开（公告）日： | 2010-09-08 |
| 发明（设计）人： | 陈学东;罗欣;叶燚玺;曾理湛 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | F16C32/06 | 分类号： | F16C32/06 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单腔多孔式节流结构的气体轴承，其特征在于：在气体轴承上开有中心孔，该中心孔内镶嵌有圆柱体，该圆柱体的直径为5～10mm，长度为0.1～2mm，该圆柱体上开有微型孔阵列，微型孔的孔径为1～100μm，微型孔阵列构成节流器，中心孔的上端开有一个圆柱体腔作为进气腔，中心孔的下端开有一个圆柱体腔作为压力腔，压力腔与进气腔的直径具有相同量级，为1～10mm，压力腔的深度为0.01～0.5mm。这种单腔多孔式节流结构的气体轴承具有良好的稳定性和力学性能，能应用于各种超精密运动平台中，实现平台纳米甚至亚纳米精度的运动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多孔 节流 结构 气体 轴承 | ||
【主权项】：
一种单腔多孔式节流结构的气体轴承，其特征在于：在气体轴承（1）上开有中心孔，该中心孔内镶嵌有圆柱体，该圆柱体的直径为5～10mm，长度为0.1～2mm，该圆柱体上开有微型孔阵列，微型孔的孔径为1～100μm，微型孔阵列构成节流器（3），中心孔的上端开有一个圆柱体腔作为进气腔（4），中心孔的下端开有一个圆柱体腔作为压力腔2，压力腔（2）与进气腔（4）的直径具有相同量级，为1～10mm，压力腔（2）的深度为0.01～0.5mm。
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