[发明专利]盐以及含有该盐的光致抗蚀剂组合物

摘要

一种以式(a)表示的盐，其中Q¹和Q²各自独立地表示氟原子等，X¹表示单键等，X²表示单键等，Y¹表示C3-C36脂环族烃基等，条件是-X²-Y¹基团具有一个或多个氟原子，并且Z⁺表示有机抗衡阳离子，以及一种光致抗蚀剂组合物，其含有以式(a)表示的盐和树脂，所述树脂包含具有酸不稳定基团的结构单元，并且不溶或难溶于碱水溶液，但通过酸的作用变得可溶于碱水溶液。

主权项

1.一种以式(a)表示的盐：其中Q¹和Q²各自独立地表示氟原子或C1-C4全氟烷基，X¹表示单键或-(CH₂)_k-，并且-(CH₂)_k-中的一个或多个-CH₂-可以被-O-或-CO-代替，并且-(CH₂)_k-中的一个或多个氢原子可以被C1-C12脂族烃基取代，并且k表示1至18的整数，X²表示单键，C1-C12二价脂族烃基，C3-C12二价脂环族烃基，或通过结合二价脂族烃基与二价脂环族烃基形成的C4-C12二价基团，并且所述脂族烃基中的一个或多个-CH₂-可以被-O-或-CO-代替，并且所述脂族烃基和所述脂环族烃基中的一个或多个氢原子可以被氟原子，羟基，C3-C36脂环族烃基或C2-C4酰基取代，Y¹表示C3-C36脂环族烃基，并且所述脂环族烃基中的一个或多个-CH₂-可以被-O-或-CO-代替，并且所述脂环族烃基中的一个或多个氢原子可以被氟原子，C1-C12脂族烃基，C3-C12脂环族烃基或C2-C4酰基取代，条件是-X²-Y¹基团具有一个或多个氟原子，并且Z⁺表示有机抗衡阳离子。