[发明专利]光学元件亚表面缺陷的检测装置及其方法无效
| 申请号： | 201010189970.2 | 申请日： | 2010-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN101819163A | 公开（公告）日： | 2010-09-01 |
| 发明（设计）人： | 李亚国;雷向阳;郑楠;邓燕;谢瑞清;陈贤华;王健;许乔 | 申请（专利权）人： | 成都精密光学工程研究中心 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所 51124 | 代理人： | 蒲敏 |
| 地址： | 610041 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种测量误差小的光学元件亚表面缺陷的检测装置及其方法。光学元件亚表面缺陷的检测装置，包括显微镜、精密位移平台、与显微镜连接的图像数据处理单元，在所述图像数据处理单元上还连接有激光位移传感器，所述激光位移传感器用于测量精密位移平台在Z方向的移动量。本发明采用光学显微镜和激光位移传感器进行亚表面缺陷的测量，可同时获得亚表面缺陷深度和不同深度下的亚表面缺陷形貌，实现了对不同深度下亚表面缺陷形貌的观测和深度的精确测量，避免了传统检测重新定位所引入的误差，测量精度在微米量级，本发明不仅可用于光学玻璃的亚表面缺陷检测，同样也适用于陶瓷、硅、锗等工程材料的加工亚表面缺陷测量。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 表面 缺陷 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
光学元件亚表面缺陷的检测装置，包括显微镜(1)、精密位移平台(3)、与显微镜(1)连接的图像数据处理单元(4)，其特征在于：在所述图像数据处理单元(4)上还连接有激光位移传感器(2)，所述激光位移传感器(2)用于测量精密位移平台(3)在Z方向的移动量。
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