[发明专利]一种真空干法刻蚀机的静电处理方法及装置有效
| 申请号： | 201010192275.1 | 申请日： | 2010-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN102263408A | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 左迪建;张进 | 申请（专利权）人： | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
| 主分类号： | H02H9/04 | 分类号： | H02H9/04 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100871 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空干法刻蚀机的静电处理装置，用以解决现有技术中真空干法刻蚀机传片故障率高的问题。该装置包括电极和机械手臂，所述真空干法刻蚀机还包括静电释放控制模块，所述静电释放控制模块的一端与所述电极相连，另一端接地，用于控制所述电极与地的开合。本发明实施例还提供了一种真空干法刻蚀机的静电处理方法。如本发明提出的方案，通过静电释放控制模块控制电极与地的开合，从而实现将真空干法刻蚀机上聚集的静电释放到大地，进而降低真空干法刻蚀机的传片故障率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 刻蚀 静电 处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种真空干法刻蚀机，包括：电极和用于通过抓爪抓取所述电极上传输的晶圆的机械手臂，其特征在于，还包括静电释放控制模块；所述静电释放控制模块的一端与所述电极相连，另一端接地，用于控制所述电极与地的开合。
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