[发明专利]三自由度精密定位工作台无效
| 申请号： | 201010193005.2 | 申请日： | 2010-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN101871549A | 公开（公告）日： | 2010-10-27 |
| 发明（设计）人： | 王慧;王宏峰 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | F16M11/04 | 分类号： | F16M11/04;F16M11/18 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 宋冠群 |
| 地址： | 20009*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种三自由度精密定位工作台，包括工作台，放大基座。工作台与放大基台之间通过三个圆柱杆定位。放大基座为三组二级放大机构的互相垂直交叉组合而成。本发明能达到纳米级定位精度，定位工作台具有很好的可操作性，有效克服三组微位移放大机构之间的输入、输出耦合问题，增加其工作灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 自由度 精密 定位 工作台 | ||
【主权项】：
一种三自由度精密定位工作台，包括工作平台(5)和放大基座(1)，其特征在于：所述工作平台(5)与放大基座(1)之间通过三个圆柱杆(4)连接，所述的放大基座(1)为三组二级放大机构的互相垂直交叉组合而成。
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