[发明专利]差分电容式加速度传感器无效
| 申请号： | 201010193781.2 | 申请日： | 2010-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN101865933A | 公开（公告）日： | 2010-10-20 |
| 发明（设计）人： | 杨斌;颜毅林 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声微电子科技(常州)有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种差分电容式加速度传感器包括相对设置的两个静电极、夹在两个静电极间的动电极和分别支撑静电极和动电极的框架，所述任意静电极设有四个分离设置的静电片，任意静电片设有侧墙且任意静电片的几何中心到相邻的静电片的几何中心的连线呈直角，动电极设有侧壁，任意静电片的侧墙分为靠近框体的近侧墙和远离框体的远侧墙，静电片的近侧墙到框体的距离不大于动电极的侧壁到框体的距离。本发明的差分电容式加速度传感器灵敏度高且制造成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种差分电容式加速度传感器，其特征在于：所述差分电容式加速度传感器包括相对设置的两个静电极、夹在两个静电极间的动电极和分别支撑静电极和动电极的框架，所述任意静电极设有四个分离设置的静电片，任意静电片设有侧墙且任意静电片的几何中心到相邻的静电片的几何中心的连线呈直角，动电极设有侧壁，任意静电片的侧墙分为靠近框体的近侧墙和远离框体的远侧墙，静电片的近侧墙到框体的距离不大于动电极的侧壁到框体的距离。
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