[发明专利]单片集成串联耦合腔波长可切换半导体激光器无效
| 申请号： | 201010195941.7 | 申请日： | 2010-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN101859981A | 公开（公告）日： | 2010-10-13 |
| 发明（设计）人： | 何建军;金嘉亮 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H01S5/06 | 分类号： | H01S5/06;H01S5/10;H01S5/0625 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林怀禹 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单片集成串联耦合腔波长可切换半导体激光器。包括三个串联耦合的法布里-珀罗谐振腔，第一与第二法布里-珀罗谐振腔之间和第二与第三法布里-珀罗谐振腔之间，分别通过刻蚀的各自的空气槽相隔开。所述的两个空气槽刻蚀深度超过半导体激光器的有源芯层，第一和第三法布里-珀罗谐振腔通过电泵浦的方式产生光学增益从而输出激光，同时第二法布里-珀罗谐振腔产生损耗用于优化激光器的单模特性；其中：第一和第三法布里-珀罗谐振腔的一个端面为解离形成的反射面，另一个为通过刻蚀形成垂直侧壁的空气槽。这种激光器的波长可以在一系列离散的数值上精确切换，具有单模特性好，波长切换控制方法可靠，制作工艺简单成本较低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 单片 集成 串联 耦合 波长 切换 半导体激光器 | ||
【主权项】：
一种单片集成串联耦合腔波长可切换半导体激光器，包括三个串联耦合的法布里-珀罗谐振腔(101，103、102)，第一法布里-珀罗谐振腔(101)与第二法布里-珀罗谐振腔(103)之间和第二法布里-珀罗谐振腔(103)与第三法布里-珀罗谐振(102)之间，分别通过刻蚀的各自的空气槽(106、108)相隔开；其特征在于：所述的两个空气槽(106、108)刻蚀深度超过半导体激光器的有源芯层(114)，第一法布里-珀罗谐振腔(101)和第三法布里-珀罗谐振腔(102)通过电泵浦的方式产生光学增益从而输出激光，同时第二法布里-珀罗谐振腔(103)产生损耗用于优化激光器的单模特性；其中：第一法布里-珀罗谐振腔(101)的一个端面为解离形成的反射面，另一个为通过刻蚀形成垂直侧壁的空气槽(106)；第三法布里-珀罗谐振腔(102)的一个端面为解离形成的反射面，另一个为通过刻蚀形成垂直侧壁的空气槽(108)。
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