[发明专利]具有两转一移三自由度的微动并联机构

摘要

本发明涉及具有两转一移三自由度的微动并联机构。提供一种机构运动学简单、易于控制的一种具有两转一移三自由度的微动并联机构。技术方案是：具有两转一移三自由度的微动并联机构，包括连接于定平台与动平台之间的三条分支，该三条分支结构完全相同，其中左右两个分支的运动平面重合并关于动平台对称分布，中间分支的运动平面与左右分支的对称平面重合；每个分支设置一第三刚性连杆、柔性转动铰链、刚性连杆、第二刚性连杆、以及一柔性球铰链。

主权项

具有两转一移三自由度的微动并联机构，包括连接于定平台(1)与动平台(2)之间的三条分支，其特征在于该三条分支结构完全相同，其中左右两个分支的运动平面重合并关于动平台对称分布，中间分支的运动平面与左右分支的对称平面重合；每个分支设置一第三刚性连杆(37)、柔性转动铰链(34)、刚性连杆(33)、第二刚性连杆(35)、以及一柔性球铰链(36)；并且，每个分支还分别设置一由压电陶瓷(32)驱动的弹性移动副(31)；该弹性移动副直接安装在定平台(1)上，动平台依次通过所述第三刚性连杆(37)、柔性球铰链(36)、第二刚性连杆(35)、柔性转动铰链(34)、刚性连杆(33)以及弹性移动副(31)与定平台(1)连接；或者，每个分支还设置第二柔性转动铰链(61)，该第二柔性转动铰链连接在定平台上，动平台依次通过所述第三刚性连杆(37)，柔性球铰链(36)、第二刚性连杆(35)、柔性转动铰链(34)、刚性连杆(33)以及第二柔性转动铰链(61)与定平台连接。