[发明专利]可控制激光束长度及强度的激光加工设备

摘要

本发明涉及一种激光加工设备，具备：在内部安装基板并在上方安装石英窗的反应室；安装于反应室的外部，使其位于石英窗的顶部，并将帘状激光束照射于基板的激光装置；安装于激光装置和石英窗之间，并隔离激光束的侧面，为使沿着激光束的纵向水平移动，并在激光束的两端中至少安装于一端的光束隔离手段。反馈手段的光电探测器接受由光束隔离手段反射的激光束，并测量其强度后反馈给激光装置，从而控制激光装置输出的激光束强度。根据本发明，可控制入射于基板的激光束长度，而且还能在实施过程中实时控制激光束的强度。

主权项

一种激光加工设备，其特征在于，具备：在内部安装基板并在上方安装石英窗的反应室；安装于上述反应室的外部，使其位于上述石英窗的顶部，并将帘状激光束照射于上述基板的激光装置；安装于上述激光装置和上述石英窗之间，并隔离上述激光束的侧面，为使沿着上述激光束的纵向水平移动，在上述激光束的两端中至少安装于一端的光束隔离手段。