[发明专利]断线检测系统有效
| 申请号： | 201010197149.5 | 申请日： | 2010-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN101859721A | 公开（公告）日： | 2010-10-13 |
| 发明（设计）人： | 靳永吉;田惠兰 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人： | 董金国 |
| 地址： | 065201 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种断线检测系统，特别是应用在半导体专用设备制造行业的多线切割机设备中的断线检测系统，本发明包括设置在旋转轴上的电刷、与电刷固定连接的压簧、与电刷套装连接的电刷架垂直于电刷架中心轴的与电刷架套装连接的支撑轴、插接在支撑轴一端的固定板、和固定板固定连接的固定轴，电刷架和支撑轴之间设置有绝缘套和绝缘圈，电刷和被检测的钢线、旋转轴构成闭环回路；本发明能够准确检测钢线断线给出的信号，从而避免断线引起主辊损坏和切出大量不合格硅片。 | ||
| 搜索关键词： | 断线 检测 系统 | ||
【主权项】：
断线检测系统，其特征在于，其包括设置在旋转轴(14)上的电刷(2)、与电刷(2)固定连接的压簧(3)、与电刷(2)套装连接的电刷架(4)、垂直于电刷架(4)中心轴的与电刷架(4)套装连接的支撑轴(10)、插接在支撑轴(10)一端的固定板(11)、和固定板(11)固定连接的固定轴(12)，所述电刷架(4)和支撑轴(10)之间设置有绝缘套(7)和绝缘圈(8)，所述旋转轴(14)与被检测的钢线、电刷(2)构成闭合回路。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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