[发明专利]一种折射率传感器制作方法及折射率传感装置无效
| 申请号： | 201010197437.0 | 申请日： | 2010-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN101871886A | 公开（公告）日： | 2010-10-27 |
| 发明（设计）人： | 邵理阳;董新永;金尚忠 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 杜军 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种折射率传感器制作方法及折射率传感装置。传统的传感器测量精度低、使用寿命低。本发明折射率传感器制作方法是在倾斜光纤光栅周向表面利用离子溅射镀膜方法镀上金膜，本发明中的折射率传感装置包括宽带光源、起偏器、偏振控制器、折射率传感器，解调仪和计算机处理系统。带宽为80nm～100nm宽带光源发出的光经起偏器和偏振控制器进入折射率传感器，经折射率传感器的透射光谱输入到波长解调仪，通过波长解调仪得到的等离子体共振波长和布拉格波长送入计算机处理系统。本发明传感器能大大提高折射率传感的灵敏度。同时利用倾斜光纤光栅自身的布拉格波长，可以用做温度参考信号，实时补偿折射率测量时环境温度变化的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 折射率 传感器 制作方法 传感 装置 | ||
【主权项】：
一种折射率传感器制作方法，其特征在于：该方法是在倾斜光纤光栅周向表面利用离子溅射镀膜方法镀上金膜；所述的倾斜光纤光栅倾斜角度为4°～10°；所述的金膜膜厚为20nm～50nm。
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