[发明专利]透明导电薄膜及制备方法

摘要

本发明提供一种采用易于工业化生产的热喷雾法制备透明导电薄膜，克服了用其他方法带来的不易操作或不能产量化等困难。本发明首先将微晶玻璃板用去离子水和酒精进行清洗，再配制喷涂液，将配制好的喷涂液用喷枪喷涂到加热的微晶玻璃板上，喷涂时以压缩的空气为气体载体，把喷涂后的微晶玻璃板放入隧道炉，然后进入到保温区，随炉冷却到室温，得到成品。本发明的透明导电薄膜是在主体材料氧化锡中加入锑、钡元素作为掺杂剂，以盐酸作为辅助剂，酒精为溶剂，该薄膜成膜牢固，具有良好的导电性、透光性、稳定性、可干烧、耐腐蚀。

主权项

一种透明导电薄膜的制备方法，其特征在于用热喷雾法获得所述的透明导电薄膜，包括如下步骤：①、首先将微晶玻璃板用去离子水和酒精进行清洗，将清洗过的微晶玻璃板放入升温炉里，加热到400℃～800℃，烘干待用；②、配制喷涂液，喷涂液的材料的质量百分比如下：氧化锡前体    25％～40％锑前体        0.5％～1.2％钡前体        0.6％～1.6％HCl           15％～25％酒精          40％～60％，用盐酸溶解氧化锡前体，用酒精分别溶解锑前体和钡前体，用磁力搅拌器搅拌均匀，把三种溶液混合、搅拌，得到均匀的喷涂液；③、将上述配制好的喷涂液用喷枪喷涂到加热的微晶玻璃板上，在炉膛末端，玻璃温度在400℃～700℃，在此温度下喷涂，炉膛末端设置一排喷枪，喷涂时以压缩的空气为气体载体，每次的沉积时间固定为4～8秒；④、取出喷涂后的微晶玻璃板，把喷涂后的微晶玻璃板放入隧道炉内烧结，烧结时间为45～60分钟；⑤、然后把微晶玻璃板进入到保温区，保温10～200分钟，随炉冷却到室温，得到成品。