[发明专利]探针电阻的检测方法有效
| 申请号： | 201010198398.6 | 申请日： | 2010-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN101907657A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 路向党 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种测试用探针电阻的检测方法。这种探针电阻的检测方法，所述探针用于测试工具检测器件的电阻，包括如下步骤：步骤1，将至少三个探针分别两两组合与连至所述器件两端的第一焊垫和第二焊垫接触；步骤2，获取各组探针的电阻之和；步骤3，计算出各个探针的电阻；步骤4，将各个探针的电阻分别和探针电阻的允许范围做比较，判断探针的电阻是否属于探针电阻的允许范围。本发明的探针电阻的检测方法，简便易行。通过本发明探针电阻的检测方法，可以方便检测人员检测测试工具所采用的探针的电阻是否正常，从而可以有效监控测试工具的工作状态是否正常，进而可以有效保证采用测试工具测量器件所获得的测试数据的准确性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 电阻 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种探针电阻的检测方法，所述探针用于测试工具检测器件的电阻，其特征在于，包括如下步骤：步骤1，将至少三个探针分别两两组合与连至所述器件两端的第一焊垫和第二焊垫接触；步骤2，获取各组探针的电阻之和；步骤3，计算出各个探针的电阻；步骤4，将各个探针的电阻分别和探针电阻的允许范围做比较，判断探针的电阻是否属于探针电阻的允许范围。
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