[发明专利]加速度传感器有效
| 申请号： | 201010198641.4 | 申请日： | 2010-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN101865934A | 公开（公告）日： | 2010-10-20 |
| 发明（设计）人： | 杨斌;孟珍奎;张睿;葛舟;颜毅林 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声微电子科技(常州)有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种加速度传感器，其特征在于：该加速度传感器包括基底、质量块、第一组电容、对第一组电容相邻的第三组电容，其中；质量块可相对于基底运动，并设有上表面、与上表面平行的下表面以及连接上下表面的侧壁；第一组电容包括与质量块侧壁相连接的第一动电极轴、连接第一动电极轴与基底的第一弹性支撑部件，以及由第一动电极轴延伸并垂直于质量块侧壁法向的若干第一动电极；第一组电容还包括若干与第一动电极平行并连接固定至基底的第一定电极；每两相邻的第一动电极之间设有至少一个上述的第一定电极。本发明提供的加速度传感器尺寸小、灵敏度高，设计灵活。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种加速度传感器，其特征在于：该加速度传感器包括基底、质量块、第一组电容、与第一组电容相邻的第三组电容，其中：质量块可相对于基底运动，并设有上表面、与上表面平行的下表面以及连接上下表面的侧壁；第一组电容包括与质量块侧壁相连接的第一动电极轴、连接第一动电极轴与基底的第一弹性支撑部件，以及由第一动电极轴延伸并垂直于质量块侧壁法向的若干第一动电极；第一组电容还包括若干与第一动电极平行并连接固定至基底的第一定电极；每两相邻的第一动电极之间设有至少一个上述的第一定电极，每两相邻的第一定电极之间设有至少一个上述的第一动电极，且相邻的第一动电极与第一定电极在质量块的侧壁的法向上具有重叠面积；第一动电极具有与质量块上表面平行的第一动电极顶面与第一动电极底面；第一定电极具有与质量块上表面平行的第一定电极顶面与第一定电极底面；第一动电极顶面相较第一定电极顶面更靠近质量块上表面，同时，第一动电极底面相较第一定电极底面更靠近质量块上表面；第三组电容包括与质量块侧壁相连接的第三动电极轴、连接第三动电极轴与基底的第三弹性支撑部件，以及由第三动电极轴延伸并垂直于质量块侧壁法向的若干第三动电极；第三组电容还包括若干与第三动电极平行并连接固定至基底的第三定电极；每两相邻的第三动电极之间设有至少一个上述的第三定电极，每两相邻的第三定电极之间设有至少一个上述的第三动电极，且相邻的第三动电极与第三定电极在质量块的侧壁的法向上具有重叠面积；第三动电极具有与质量块上表面平行的第三动电极顶面与第三动电极底面；第三定电极具有与质量块上表面平行的第三定电极顶面与第三定电极底面；第三动电极顶面相较第三定电极顶面更远离质量块上表面，同时，第三动电极底面相较第三定电极底面更远离质量块上表面；第一组电容的第一动电极垂直于第三组电容的第三动电极。
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