[发明专利]工艺废气处理装置及工艺废气处理方法有效
| 申请号： | 201010198762.9 | 申请日： | 2010-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN102266710A | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 谢正益 | 申请（专利权）人： | 旺宏电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/34 | 分类号： | B01D53/34 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种工艺废气处理装置包括腔体与漏斗顶盖环。漏斗设置于腔体下方，具有至少一注入孔，设置于接近腔体之处。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺 废气 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种工艺废气处理装置，包括：一腔体；以及一漏斗，该漏斗设置于该腔体下方，具有至少一注入孔，设置于接近该腔体之处。
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