[发明专利]一种检测碲锌镉材料缺陷空间延伸特性的方法

摘要

本发明公开了一种检测碲锌镉材料缺陷空间延伸特性的方法。其方法是：使用红外透射显微镜，以碲锌镉材料中的沉淀物为定位标记，测定碲锌镉材料缺陷腐蚀坑在多次腐蚀后的横向移动的取向和距离，结合腐蚀深度的测量确定缺陷的空间延伸特性。本方法定位精度高，腐蚀坑横向位移的测量精度可以达到0.2微米，操作方便，仪器要求简单，解决了长久以来，跟踪观察碲锌镉材料缺陷的定位难题。这对研究碲锌镉材料缺陷的特性，进而降低碲镉汞外延材料的位错密度具有实用价值。

主权项

一种用于检测碲锌镉材料缺陷空间延伸特性的方法，其特征包括以下步骤：A.使用划片机，将碲锌镉材料的正面或者背面刻成网格，网格尺寸和放大倍数为500倍下的红外透射显微镜的视场在同一量级上，以便于在腐蚀之后找到用来定位的沉淀物。在腐蚀之前，在碲锌镉腐蚀面的角上涂光刻胶；B.使用Everson腐蚀剂，对碲锌镉材料111的B面腐蚀，腐蚀时间1～2分钟，使用红外透射显微镜，选定碲锌镉材料内的三角形或者六边形沉淀物为定位标记，使用红外透射显微镜的拍照功能，对定位标记拍照。红外透射显微镜的CCD可以响应可见过和近红外；C.在同一视场下，将红外透射显微镜对焦至样品表面，选定离定位标记较近的位错腐蚀坑作为跟踪对象，对其拍照。将定位标记的照片和位错腐蚀坑的照片合并，就得到一张带定位标记的碲锌镉位错腐蚀坑照片，在腐蚀过程中，定位标记在材料内部，不会被腐蚀破坏，且该定位标记具有特定形状，因此有很高的定位精度；D.重复B、C步骤多次，得到多张带有同一定位标记的碲锌镉材料位错腐蚀坑照片。以夹杂物为对准标记，将多张照片对准合并，得到碲锌镉材料缺陷腐蚀坑随着腐蚀而移动的图片，确定该缺陷腐蚀坑随腐蚀而移动的横向距离和取向；E.使用丙酮将光刻胶清洗掉，之后使用台阶仪或者光学显微镜测试光刻胶保护面与腐蚀面之间的高差，得到腐蚀深度，根据腐蚀深度和D步骤中得到的位错腐蚀坑横向移动距离和取向，确定该位错的空间延伸特性。